工業(yè)型原子力顯微鏡拖動(dòng)一個(gè)超鋒利的穿過(guò)材料，非常接近但從未觸及表面。可以感覺(jué)到表面的位置，檢測(cè)材料產(chǎn)生的電磁力。通過(guò)有條不紊地來(lái)回傳遞，研究人員可以繪制出一種材料的表面屬性，就像測(cè)量員有條不紊地在一塊土地上踱步以繪制該領(lǐng)土的地圖一樣。
工業(yè)型原子力顯微鏡是利用檢測(cè)樣品表面與細(xì)微的探針之間的相互作用力(原子力)測(cè)出表面的形貌。將一個(gè)對(duì)微弱力極敏感的微懸臂一端固定，另一端有一微小的針尖，針尖與樣品表面輕輕接觸，由于針尖原子與樣品表面原子間存在極微弱的作用力，通過(guò)在掃描時(shí)控制這種力的恒定，帶有針尖的微懸臂將對(duì)應(yīng)于針尖與樣品表面原子間作用力的等位面而在垂直于樣品的表面方向起伏運(yùn)動(dòng)。利用光學(xué)檢測(cè)法或隧道電流檢測(cè)法，可測(cè)得微懸臂對(duì)應(yīng)于掃描各點(diǎn)的位置變化，從而可以獲得樣品表面形貌的信息。
工業(yè)型原子力顯微鏡是顯微鏡中的一種類(lèi)型，應(yīng)用范圍十分廣泛：
1、評(píng)估晶片處理前后的差異(SiO2, GaAs, SiGe等)；
2、確定生物醫(yī)學(xué)設(shè)備的處理效果(例如電漿處理)，如隱形眼鏡、導(dǎo)管和涂層支架；
3、檢查表面粗糙度對(duì)附著力的影響；
4、評(píng)估圖案晶圓的溝槽形狀與清潔度；
5、檢查形態(tài)是否是表面陰霾的來(lái)源。
微信二維碼